产品名称：气体流量控制适配组件产品简介：连接质量流量控制器（MFC）与工艺管路的高精度适配组件，保障工艺气体稳定输送。技术规格
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 适用介质：高纯工艺气体（SiH4、NH3、CF4、O2 等）
- 连接方式：VCR/VCO 面密封
- 耐压：≥20MPa
- 洁净处理：双抛光、真空烘烤功能特点
- 零死体积，无气体残留
- 超高密封性，无泄漏
- 耐腐蚀、耐高压
- 符合半导体气体系统标准应用场景：MFC 气体管路连接、CVD/PVD/ALD 工艺气体输送、刻蚀机气路系统、高纯气体分配单元。
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AMAT 0150-35002
2026-02-13 15:46 已有人浏览 小编
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产品AMAT 0150-35002
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