产品名称:设备控制接口电路板产品简介:半导体机台控制单元专用 I/O 接口板,负责信号采集、逻辑控制与设备联动。技术规格
- 工作电压:24V DC
- 接口类型:标准工业控制信号接口
- 防护等级:设备内部洁净环境使用
- 兼容系统:AMAT 标准机台控制系统
- 板载器件:工业级高可靠芯片功能特点
- 信号采集精准,响应速度快
- 抗电磁干扰,运行稳定
- 即插即用,替换便捷
- 长周期稳定运行,故障率低应用场景:刻蚀 / 沉积 / 离子注入设备主控单元、机台状态监控、阀件 / 泵体 / 机械手逻辑控制。
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分类Amat
产品AMAT 0100-02805
品牌AMAT
型号0100-02805
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