产品名称:晶圆承载盘定位环产品简介:晶圆制程专用定位环,用于晶圆承载盘精准定位与边缘防护,保证制程一致性。技术规格
- 材质:高纯阳极氧化铝 / 陶瓷
- 适用晶圆:8 英寸 / 12 英寸晶圆
- 定位精度:±0.02mm
- 表面粗糙度:Ra≤0.8μm
- 洁净等级:USEM 级超高洁净功能特点
- 晶圆定位精准,无偏移
- 无毛刺、无颗粒脱落
- 耐温、耐化学腐蚀
- 与 ESC 静电卡盘兼容应用场景:Centura/Endura 系列晶圆制程、PVD/CVD/Etch 制程晶圆定位、静电卡盘配套使用。
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分类Amat
产品AMAT 0200-35623
品牌AMAT
型号0200-35623
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