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AMAT 0200-35623

2026-02-13 15:44 已有人浏览 小编

分类Amat

产品AMAT 0200-35623

品牌AMAT

型号0200-35623

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称:晶圆承载盘定位环
产品简介:晶圆制程专用定位环,用于晶圆承载盘精准定位与边缘防护,保证制程一致性。
技术规格
  • 材质:高纯阳极氧化铝 / 陶瓷
  • 适用晶圆:8 英寸 / 12 英寸晶圆
  • 定位精度:±0.02mm
  • 表面粗糙度:Ra≤0.8μm
  • 洁净等级:USEM 级超高洁净
    功能特点
  • 晶圆定位精准,无偏移
  • 无毛刺、无颗粒脱落
  • 耐温、耐化学腐蚀
  • 与 ESC 静电卡盘兼容
    应用场景:Centura/Endura 系列晶圆制程、PVD/CVD/Etch 制程晶圆定位、静电卡盘配套使用。