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AMAT 0021-39657

2026-02-13 15:38 已有人浏览 小编

分类Amat

产品AMAT 0021-39657

品牌AMAT

型号0021-39657

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称:射频传输匹配组件
产品简介:用于半导体设备射频功率传输与阻抗匹配的精密组件,保障等离子体激发稳定。
技术规格
  • 适配频率:13.56MHz 标准射频
  • 功率承载:中高功率射频传输
  • 材质:高导电铜合金 + 绝缘陶瓷
  • 阻抗范围:标准制程匹配阻抗
  • 绝缘耐压:≥5kV
    功能特点
  • 射频传输效率高,损耗低
  • 阻抗匹配稳定,等离子体状态均匀
  • 高绝缘强度,安全可靠
  • 抗干扰,减少射频反射
    应用场景:ICP/RIE 刻蚀设备、PECVD 沉积设备、射频电源与腔体匹配网络、等离子体清洗设备。