产品名称:射频传输匹配组件产品简介:用于半导体设备射频功率传输与阻抗匹配的精密组件,保障等离子体激发稳定。技术规格
- 适配频率:13.56MHz 标准射频
- 功率承载:中高功率射频传输
- 材质:高导电铜合金 + 绝缘陶瓷
- 阻抗范围:标准制程匹配阻抗
- 绝缘耐压:≥5kV功能特点
- 射频传输效率高,损耗低
- 阻抗匹配稳定,等离子体状态均匀
- 高绝缘强度,安全可靠
- 抗干扰,减少射频反射应用场景:ICP/RIE 刻蚀设备、PECVD 沉积设备、射频电源与腔体匹配网络、等离子体清洗设备。
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分类Amat
产品AMAT 0021-39657
品牌AMAT
型号0021-39657
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