产品名称：晶圆制程腔体内衬保护件产品简介：安装于腔体内部的防护内衬，隔离等离子体与腔壁，延长腔体寿命并降低颗粒污染。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 / 碳化硅复合材料
- 表面处理：等离子喷涂抗蚀涂层
- 适配腔体：标准刻蚀 / 沉积腔体
- 厚度：高精度定制厚度
- 洁净等级：SEMI 标准超高洁净级功能特点
- 抗等离子体刻蚀，使用寿命长
- 低放气、低金属污染
- 精准定位安装，结构稳定
- 降低维护成本，提升机台稼动率应用场景：介质刻蚀腔体、导体刻蚀腔体、物理气相沉积腔体、原子层沉积腔体内部防护。
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AMAT 0200-35579
2026-02-13 15:38 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-35579
品牌AMAT
型号0200-35579
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