AMAT 0040-02937

产品名称：晶圆承载台 ESC 电源驱动模块产品简介：静电卡盘（ESC）专用高压电源驱动模块，为晶圆静电吸附提供稳定高压输出，保障晶圆吸附牢固、定位精准。技术规格...