产品名称：晶圆承载台 ESC 电源驱动模块产品简介：静电卡盘（ESC）专用高压电源驱动模块，为晶圆静电吸附提供稳定高压输出，保障晶圆吸附牢固、定位精准。技术规格
- 输出电压：0～5kV DC 连续可调
- 输出电流：≤10mA
- 控制方式：模拟量 / 数字量远程控制
- 响应时间：≤50ms
- 绝缘耐压：≥10kV
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 高压输出稳定，纹波小，吸附力均匀
- 过压、过流、短路多重保护，安全可靠
- 支持吸附 / 释放快速切换，适配高速制程
- 与 ESC 静电卡盘完美匹配，无兼容性问题应用场景：Centura/Endura 系列晶圆制程、PVD/CVD/Etch 制程晶圆静电吸附、离子注入设备 ESC 驱动、先进封装制程晶圆固定。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 