产品名称：真空腔体温度采集模块产品简介：半导体真空腔体专用多通道温度采集模块，实时采集腔体、加热模块、晶圆承载台等关键部位温度，为温度闭环控制提供精准数据。技术规格
- 测温元件：兼容 Pt100 / 热电偶（K 型 / J 型）
- 通道数：8 路独立高精度采集
- 测量精度：±0.1℃
- 采样速率：10 次 / 秒
- 输出信号：4-20mA/RS485 数字量
- 材质：工业级 PCB + 金属屏蔽外壳功能特点
- 多通道同步采集，数据实时传输
- 高精度、低漂移，长期稳定性优异
- 信号隔离，抗真空环境电磁干扰
- 支持温度超限报警与数据记录应用场景：PVD/CVD/ALD 腔体温度监控、加热模块温度采集、晶圆承载台温度监测、真空设备热稳定控制系统。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 