产品名称：射频匹配网络控制板卡产品简介：射频电源与腔体匹配网络专用控制板卡，实现阻抗实时调节与功率稳定输出，保障等离子体激发均匀性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/27MHz/60MHz
- 控制精度：阻抗匹配误差≤±1%
- 通信接口：DeviceNet/RS485 / 模拟量
- 工作温度：0℃～50℃
- 供电：24V DC
- 板载：工业级 DSP 处理器，高速运算功能特点
- 实时阻抗匹配，快速响应工艺参数变化
- 功率稳定控制，减少射频反射，提升效率
- 抗电磁干扰，运行稳定，适配复杂射频环境
- 支持远程参数配置与故障诊断应用场景：ICP/RIE 刻蚀设备、PECVD 沉积设备、射频等离子体清洗设备、射频匹配网络主控单元。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 