产品名称：设备安全联锁信号采集模块产品简介：半导体设备专用安全联锁信号采集与处理模块，实时监控设备门盖、腔体、模块等关键部件的安装与闭合状态，触发安全保护逻辑，保障设备与人员安全。技术规格
- 工作电压：24V DC
- 输入信号：多路无源干接点 / 有源电平信号
- 输出信号：安全继电器触点 + 数字总线信号
- 响应时间：≤1ms
- 防护等级：IP20（设备内部洁净环境）
- 兼容系统：AMAT Centura/Endura 系列设备控制系统功能特点
- 多通道独立采集，信号隔离，抗干扰能力强
- 实时状态反馈，异常立即触发安全停机
- 故障自诊断，支持状态指示灯与远程报警
- 模块化设计，即插即用，维护便捷应用场景：刻蚀 / 沉积 / 离子注入设备安全联锁、腔体门盖状态监控、模块插拔安全检测、设备维护安全保护、晶圆制程安全联锁控制。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 