产品名称：真空计信号处理模块产品简介：真空系统专用信号处理模块，接收真空计传感信号，进行放大、校准与转换，输出标准控制信号至设备主控系统。技术规格
- 输入信号：兼容皮拉尼、冷阴极、热阴极真空计信号
- 测量范围：大气压～10⁻¹⁰Torr
- 输出信号：0-10V/4-20mA 模拟量 + RS485 数字量
- 精度：≤±0.5% F.S.
- 供电：24V DC
- 材质：工业级 PCB + 金属屏蔽外壳功能特点
- 信号处理精准，抗干扰能力强
- 宽量程适配，兼容多类型真空计
- 校准便捷，长期稳定性高
- 与设备真空控制系统无缝对接应用场景：腔体真空度监控、分子泵 / 干泵机组压力监测、真空检漏系统、晶圆制程真空联锁控制。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 