产品名称：设备主控信号采集板卡产品简介：半导体机台核心控制 I/O 板卡，负责设备状态信号采集、逻辑运算与执行机构控制，是设备自动化运行的核心单元。技术规格
- 工作电压：24V DC
- 输入 / 输出：多路数字量 / 模拟量 I/O
- 采样精度：16 位高精度采样
- 通信协议：兼容 AMAT 标准设备总线
- 防护：设备内部洁净环境使用
- 板载：工业级高可靠芯片，宽温运行功能特点
- 信号采集精准，响应速度≤1ms
- 抗电磁干扰，运行稳定可靠
- 即插即用，替换便捷
- 支持故障诊断与状态反馈应用场景：刻蚀 / 沉积 / 离子注入设备主控、机台状态监控、阀件 / 泵体 / 机械手联动控制、设备安全联锁系统。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 