AMAT 0200-35086

产品名称：腔体内部等离子体屏蔽内衬组件产品简介：安装于工艺腔体内部的高精度屏蔽内衬，用于隔离等离子体与腔体金属内壁，减少副产物沉积，降低颗粒污染风险，延长腔体维...