AMAT 0140-01587

产品名称：晶圆加热承载台温控模块产品简介：晶圆承载台专用高精度温度控制模块，集成加热驱动、温度采集与闭环控制功能，为晶圆提供均匀、稳定的温度环境，保障制程温度一...