AMAT 0020-31294

产品名称：腔体内部气流导向挡板组件产品简介：安装于工艺腔体内部的气流导向部件，用于引导工艺气体与等离子体均匀流向晶圆表面，优化气流分布，提升制程均匀性与重复性。...