AMAT 0200-10368

产品名称：静电卡盘支撑环产品简介：静电卡盘外围支撑与屏蔽结构件，稳定晶圆吸附与电场分布。技术规格材质：高纯陶瓷 / 石英复合平面度：0.01mm绝缘电阻：10¹...