产品名称：静电卡盘支撑环产品简介：静电卡盘外围支撑与屏蔽结构件，稳定晶圆吸附与电场分布。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 / 石英复合
- 平面度：≤0.01mm
- 绝缘电阻：≥10¹²Ω
- 适配：200mm/300mm 晶圆静电卡盘功能特点
- 均匀支撑晶圆边缘，防止翘曲
- 屏蔽杂散电场，提升吸附稳定性
- 耐温、耐等离子体环境
- 降低颗粒与缺陷产生应用场景
- PVD、CVD、Etch 静电卡盘系统
- 晶圆高压吸附定位工艺
- 先进半导体制程腔体内部件
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AMAT 0200-10368
2026-02-26 16:41 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-10368
品牌AMAT
型号0200-10368
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