AMAT 0040-39551

产品名称：真空腔体加热基座组件产品简介：半导体真空反应腔专用加热基座，为晶圆提供稳定、均匀的工艺温度，适配高真空与等离子体环境。技术规格材质：高纯碳化硅 / 铝...