AMAT 0021-09604

产品名称：真空腔体升降气缸组件产品简介：半导体真空腔体内部的精密升降驱动部件，实现腔体内部件（如基座、托盘）的平稳升降与定位。技术规格驱动方式：气动 / 电动双...