AMAT MA-50613

产品名称：晶圆传输系统伺服驱动模块产品简介：半导体晶圆传输机械手专用伺服驱动单元，为机械手运动提供精准动力与控制，适配高洁净真空环境。技术规格驱动类型：数字式伺...