产品名称：晶圆传输系统伺服驱动模块产品简介：半导体晶圆传输机械手专用伺服驱动单元，为机械手运动提供精准动力与控制，适配高洁净真空环境。技术规格
- 驱动类型：数字式伺服驱动
- 输出功率：1kW～3kW（定制）
- 控制方式：位置 / 速度 / 力矩三环控制
- 通信接口：EtherCAT、PROFINET
- 工作电压：三相 380V AC
- 防护等级：IP65（真空侧）
- 工作温度：-10℃～50℃功能特点
- 高精度定位，重复定位精度≤0.01mm
- 快速响应，动态性能优异
- 多重保护：过压、过流、过热、过载保护
- 支持多轴同步控制，运动平稳无抖动
- 兼容 AMAT 主流机械手系统应用场景
- 半导体晶圆真空传输机械手驱动
- PVD、CVD、Etch 设备晶圆进出单元
- 12 英寸晶圆自动化产线传输系统
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 