产品名称：高精度压力传感器组件（Baratron 型）产品简介：半导体真空系统专用电容式压力传感器，用于实时监测腔体与气路压力，为工艺控制提供高精度数据。技术规格
- 测量范围：1 Torr～1000 Torr（多量程可选）
- 精度等级：±0.25% FS
- 响应时间：≤10ms
- 输出信号：4～20mA/0～10V
- 工作温度：-40℃～85℃
- 防护等级：IP67
- 材质：316L 不锈钢（接液部分）功能特点
- 电容式传感原理，长期稳定无漂移
- 抗电磁干扰，适配复杂工业环境
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 快速响应，实时反馈压力变化
- 兼容原厂控制系统，校准便捷应用场景
- 半导体真空腔体、气路系统压力监测
- PVD、CVD、Etch 设备真空度闭环控制
- 高纯工艺气体输送系统压力监控
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 