产品名称：数字量控制板卡（I/O 控制模块）产品简介：半导体设备专用数字量输入输出控制核心板卡，负责设备传感器信号采集、执行器驱动与逻辑控制，适配高可靠工业控制场景。技术规格
- 输入通道：32 路隔离数字量输入（NPN/PNP 兼容）
- 输出通道：32 路继电器 / 晶体管输出（最大负载 2A/24VDC）
- 工作电压：24VDC
- 通信接口：RS485、EtherNet/IP、DeviceNet
- 响应时间：≤5ms
- 防护等级：IP20（设备内部安装）
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 全通道光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 支持 HP/LP 双解耦控制，精准调节压力 / 流量
- 故障自诊断与状态反馈，快速定位异常
- 热插拔设计，在线维护不影响生产
- 兼容 AMAT 主流设备控制系统，即插即用应用场景
- 半导体设备真空腔体、气路系统控制
- PVD、CVD、Etch 设备 I/O 信号采集与驱动
- 设备安全联锁、阀门 / 泵浦控制单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 