产品名称：晶圆传输导轨组件产品简介：半导体晶圆传输系统精密导向部件，保障晶圆传输平稳、无偏移，适配高洁净真空环境。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 铝合金阳极氧化
- 导轨类型：线性 / 滚轮式复合导轨
- 直线度：≤0.005mm/m
- 平行度：≤0.005mm/m
- 负载能力：≤10kg
- 工作温度：-20℃～150℃
- 润滑方式：真空专用干膜润滑功能特点
- 高刚性、低摩擦，传输平稳无振动
- 耐磨、耐腐蚀，使用寿命长
- 防静电处理，杜绝晶圆静电损伤
- 精密导向，传输定位精度高
- 模块化设计，便于安装与维护应用场景
- 半导体晶圆真空传输模块、机械手导轨
- PVD、CVD、Etch 设备晶圆传输系统
- 12 英寸晶圆自动化产线传输导向
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 