AMAT 3420-01078

产品名称：晶圆传输系统线性伺服电机模组产品简介：半导体晶圆自动化传输系统的核心动力部件，采用无刷线性伺服技术，为晶圆机械手提供高精度、高速度的直线运动，适配真空...