产品名称：晶圆传输系统线性伺服电机模组产品简介：半导体晶圆自动化传输系统的核心动力部件，采用无刷线性伺服技术，为晶圆机械手提供高精度、高速度的直线运动，适配真空与洁净环境。技术规格
- 电机类型：无铁芯线性伺服电机
- 行程：300mm（标准），可定制
- 最大速度：2m/s
- 定位精度：±0.003mm
- 重复定位精度：±0.001mm
- 峰值推力：150N
- 工作电压：48VDC
- 防护等级：IP67（动子），IP20（定子）功能特点
- 无接触运动，无磨损、无颗粒产生
- 高加速度（≥5g），提升晶圆传输效率
- 真空兼容设计，适配 1×10⁻⁶ Torr 真空环境
- 低电磁干扰（EMI），不影响精密制程
- 内置位置传感器，无需外部编码器应用场景
- 300mm 晶圆真空传输机械手 X/Y 轴驱动
- 光刻机晶圆台精密定位系统
- 半导体自动化生产线的高速直线传输单元
AMAT 03-83601-00 
AMAT 0200-03265 
AMAT 1350-00255 
AMAT 0020-10186 