产品名称：真空腔体石英隔热屏蔽罩产品简介：半导体高温制程腔体内部的关键隔热部件，采用高纯石英材料制造，用于隔离加热区与腔体壁，减少热量损耗，维持腔体内部温度场均匀性。技术规格
- 材质：高纯合成石英（SiO2 含量≥99.999%）
- 工作温度：室温～1200℃
- 隔热性能：导热系数≤1.4W/(m・K)（800℃时）
- 结构形式：多片拼接式圆柱状屏蔽罩
- 厚度：5mm～8mm
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 耐等离子体性能：优异，抗氟基 / 氯基等离子体腐蚀功能特点
- 高效隔热，降低腔体壁温，减少冷却系统负荷
- 高纯材质，低释气率，不污染工艺环境
- 耐高温冲击，快速升温降温无破裂风险
- 模块化拼接，便于安装与更换
- 表面抛光处理，减少颗粒吸附应用场景
- 高温退火（Anneal）设备腔体隔热
- 金属氧化物 CVD 制程腔体温度控制
- 半导体高温扩散炉内部屏蔽
AMAT 0200-35113 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 