AMAT 5400-D-0025

产品名称：高精度晶圆位置检测传感器产品简介：用于晶圆传输、装载、定位过程的非接触式检测传感器，实现晶圆有无、中心位置、偏移状态精准识别。技术规格检测方式：光电非...