产品名称：高精度晶圆位置检测传感器产品简介：用于晶圆传输、装载、定位过程的非接触式检测传感器，实现晶圆有无、中心位置、偏移状态精准识别。技术规格
- 检测方式：光电非接触式
- 检测精度：±0.01mm
- 响应时间：≤10ms
- 工作电压：24VDC
- 输出信号：NPN/PNP 数字量
- 环境等级：Class 10 洁净室适用功能特点
- 非接触检测，无机械磨损、无颗粒产生
- 抗环境光干扰，工作稳定可靠
- 体积小巧，易于集成在狭小空间
- 高灵敏度，可识别薄型晶圆与边缘位置
- 长期工作免维护，使用寿命长应用场景
- 晶圆传输机械手、Load Lock 腔体
- 制程设备晶圆进出检测与定位
- 半导体自动化产线晶圆位置识别系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 