产品名称：真空腔体密封绝缘法兰组件产品简介：半导体真空腔体与外部管路连接专用绝缘密封法兰，同时实现真空密封与电气绝缘功能。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 + 陶瓷绝缘结构
- 密封形式：金属密封 + O 型圈双重密封
- 绝缘耐压：≥5kV DC
- 真空等级：≤1×10⁻⁹ Torr
- 适用口径：DN50、DN80、DN100
- 工作温度：-20℃～200℃功能特点
- 高真空密封性能，长期使用无泄漏
- 优异电气绝缘，避免杂散电流干扰工艺
- 高强度结构，耐压、抗变形
- 耐腐蚀、耐等离子体冲刷
- 标准化接口，安装与更换便捷应用场景
- 真空反应腔、传输腔、真空泵管路连接
- 射频等离子体设备绝缘密封部位
- 半导体高真空系统管路绝缘密封
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 