产品名称：射频自动匹配网络控制单元产品简介：射频电源系统专用自动阻抗匹配控制器，用于调节射频输出阻抗，提升功率耦合效率，保证等离子体工艺稳定。技术规格
- 适用频段：13.56MHz、2MHz
- 功率容量：≤10kW
- 匹配范围：5～500Ω
- 调节速度：≤50ms
- 控制方式：自动 / 手动双模式
- 通信接口：RS232、模拟量功能特点
- 自动快速锁定最佳匹配点，提升工艺稳定性
- 低驻波比，降低射频电源损耗与故障率
- 耐高压、耐高温，适应恶劣制程环境
- 具备驻波保护、过温保护、过流保护
- 结构紧凑，适配各类射频腔体系统应用场景
- PECVD、RIE、ICP 等离子体刻蚀与沉积设备
- 半导体射频电源与腔体阻抗匹配系统
- 先进逻辑与功率器件制程设备
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 