产品名称：气体质量流量控制器驱动模块产品简介：为气体质量流量控制器（MFC）提供驱动、控制与信号反馈的专用电子单元，实现流量精准调节与闭环控制。技术规格
- 控制信号：0～5V、4～20mA
- 通信方式：RS485 / 模拟双模式
- 响应时间：≤20ms
- 工作电压：24VDC
- 控制精度：±0.5% FS
- 适配流量范围：5sccm～50slm功能特点
- 高精度流量闭环控制，输出稳定无波动
- 快速响应，实时调节气体流量配比
- 多重保护机制，防止过流、过热损坏
- 支持远程校准与参数配置
- 兼容主流品牌气体质量流量控制器应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气路系统
- 实验室与量产线气体精密计量控制系统
- 高纯气体混气与配比装置
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 