产品名称：设备主控 I/O 信号接口板卡产品简介：半导体设备控制系统核心信号处理板卡，负责数字量与模拟量信号的采集、分配、隔离与传输，保障整机逻辑控制稳定可靠。技术规格
- 输入通道：32 路光电隔离数字量输入
- 输出通道：16 路隔离数字量输出
- 模拟通道：8 路 0～10V/4～20mA 兼容
- 工作电压：24VDC
- 通信接口：RS485、Modbus
- 响应时间：≤5ms功能特点
- 全通道光电隔离，强抗电磁干扰能力
- 信号实时处理，高速响应无延迟
- 具备过流、过压、短路多重保护功能
- 支持热插拔，在线维护不影响设备运行
- 故障自诊断，便于快速定位异常点应用场景
- 半导体刻蚀、沉积、量检测设备主控系统
- 真空阀门、真空泵、传感器信号采集与控制
- 设备安全联锁与报警系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 