产品名称：高纯工艺气体管路接头组件产品简介：半导体超高纯气体输送系统专用密封连接部件，用于气路管线之间的密封对接，确保无泄漏、无污染、无死体积。技术规格
- 材质：316L EP 级电解抛光不锈钢
- 连接形式：VCR 面密封结构
- 规格：1/4 英寸、3/8 英寸、1/2 英寸通用
- 工作压力：≤20MPa
- 工作温度：-40℃～150℃
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶功能特点
- 零泄漏密封设计，满足超高纯气体输送要求
- 内壁光滑无死角，降低气体滞留与污染风险
- 耐腐蚀性能优异，适配各类腐蚀性工艺气体
- 拆装便捷，可重复使用且密封性能不衰减
- 符合半导体行业高纯气路安装标准应用场景
- 半导体工艺气体输送主管路与分支管路
- CVD、刻蚀、离子注入设备气路面板
- 特种气体（SiH₄、NH₃、WF₆、Cl₂）输送系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 