AMAT 0020-76182

产品名称：晶圆支撑隔热垫片组件产品简介：安装于晶圆支撑销与加热基座之间的隔热绝缘垫片，用于减少热量传导、保证温度均匀性并提供电气绝缘。技术规格材质：高纯云母 /...