AMAT 0200-03264

产品名称：等离子体约束环组件产品简介：用于等离子体制程腔体内部的约束环，用于均匀等离子体分布、改善晶圆边缘工艺均匀性并保护腔体内部件。技术规格材质：高纯碳化硅 ...