AMAT 0040-08376

产品名称：真空腔体绝缘固定基座产品简介：应用于半导体高真空制程腔体的绝缘支撑固定部件，用于加热电极、射频组件与腔体外壳之间的电气隔离与结构固定，保障高压工况下设...