产品名称：真空腔体绝缘固定基座产品简介：应用于半导体高真空制程腔体的绝缘支撑固定部件，用于加热电极、射频组件与腔体外壳之间的电气隔离与结构固定，保障高压工况下设备安全稳定运行。技术规格
- 主体材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 额定耐压：≥5kV DC
- 工作温度：-20℃～450℃
- 平面度：≤0.01mm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 安装形式：螺纹紧固 + 定位销功能特点
- 超高绝缘强度，杜绝高压漏电、击穿、打火现象
- 耐高温、耐冷热冲击，长期运行不开裂、不变形
- 超低释气率，维持腔体高洁净工艺环境
- 机械强度高，抗震、抗振动、抗载荷能力强
- 精密尺寸公差，装配一致性好，重复定位精度高应用场景
- PVD、CVD、ALD 等薄膜沉积设备腔体绝缘支撑
- 等离子体刻蚀设备高压电极绝缘固定
- 半导体前道制程高真空腔体电气绝缘系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 