AMAT 0200-10284

产品名称：等离子体约束均流环产品简介：安装在半导体等离子体制程腔体内侧的环形部件，用于约束等离子体运动轨迹、均匀电场与气流分布，提升晶圆工艺均匀性并保护腔体内壁...