AMAT 0200-09716

产品名称：静电卡盘保护环产品简介：安装在静电卡盘外围的防护与均流部件，用于均匀电场分布、保护静电卡盘边缘、改善晶圆边缘工艺一致性，延长 ESC 使用寿命。技术规...