产品名称：静电卡盘保护环产品简介：安装在静电卡盘外围的防护与均流部件，用于均匀电场分布、保护静电卡盘边缘、改善晶圆边缘工艺一致性，延长 ESC 使用寿命。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 / 碳化硅复合材料
- 尺寸精度：±0.01mm
- 耐温上限：≤600℃
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 适配结构：标准 ESC 外围安装功能特点
- 均匀电场，提升晶圆吸附稳定性
- 阻隔等离子体直接冲刷 ESC 边缘
- 降低晶圆边缘工艺偏差，提升良率
- 耐化学腐蚀、耐等离子体轰击
- 安装定位精准，无需额外调整应用场景
- 静电卡盘（ESC）配套组件
- 导体 / 介质刻蚀、PVD 设备腔体
- 先进制程晶圆夹持与工艺稳定系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 