产品名称：设备主控核心处理板卡产品简介：半导体设备整机控制系统的核心运算处理板卡，负责逻辑运算、时序控制、数据采集、故障诊断与通信管理，是设备自动化运行的核心单元。技术规格
- 处理器架构：32 位工业级处理器
- 运行内存：≥256MB
- 通信接口：EtherCAT、RS485、Modbus
- 数字 I/O：64 路光电隔离通道
- 工作电压：24VDC
- 工作温度：0℃～60℃
- 防护等级：工业级抗干扰功能特点
- 高速运算，毫秒级响应设备动作
- 全隔离 I/O，强抗电磁干扰能力
- 实时故障诊断与报警输出
- 支持程序在线更新与参数配置
- 高稳定性，满足 7×24 小时连续运行应用场景
- 刻蚀、沉积、清洗、量检测设备主控系统
- 真空设备、机械手、气路系统集中控制
- 半导体自动化产线主控单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 