AMAT 0010-30528

产品名称：射频匹配网络驱动单元产品简介：用于射频电源与腔体匹配网络的自动调节驱动部件，实现阻抗快速匹配，提升等离子体稳定性。技术规格驱动方式：步进 / 伺服驱动...