产品名称：射频匹配网络驱动单元产品简介：用于射频电源与腔体匹配网络的自动调节驱动部件，实现阻抗快速匹配，提升等离子体稳定性。技术规格
- 驱动方式：步进 / 伺服驱动
- 调节范围：0～100%
- 响应时间：≤50 ms
- 通信：模拟 / 数字控制
- 供电：24 VDC
- 防护：IP54功能特点
- 调节精准快速，提升射频效率
- 运行平稳无抖动
- 抗粉尘、抗振动
- 支持闭环反馈控制
- 寿命长、可靠性高应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备
- 射频电源匹配网络驱动
- 半导体射频制程系统
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AMAT 0010-30528
2026-02-27 10:59 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0010-30528
品牌AMAT
型号0010-30528
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