产品名称：设备 I/O 通信接口板卡产品简介：半导体设备主控系统与现场执行器之间的信号转接与隔离板卡，负责数字量、模拟量信号采集与输出。技术规格
- 通道：32 路 DI/16 路 DO
- 隔离：光电隔离 ≥2 kV
- 信号类型：24 VDC / 4～20 mA
- 通信：RS485、Modbus
- 工作电压：24 VDC
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 全隔离设计，抗干扰强
- 信号稳定无失真
- 支持热插拔与在线维护
- 故障自检与状态指示
- 兼容原厂主控平台应用场景
- 刻蚀、沉积、清洗设备 I/O 单元
- 真空阀、机械手、传感器信号连接
- 半导体设备自动化控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 