产品名称：腔体喷淋头密封组件产品简介：用于气体喷淋头与腔体上盖之间的高精度密封部件，保证均匀进气与高真空密封。技术规格
- 材质：高纯度氟橡胶 / 金属密封圈
- 硬度：70 Shore A
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-20℃～200℃
- 尺寸公差：±0.01 mm功能特点
- 密封可靠，长期零泄漏
- 耐化学腐蚀、耐等离子体
- 高弹性、不易变形
- 低释气、高洁净
- 安装便捷、定位精准应用场景
- CVD、ALD、刻蚀腔体喷淋头密封
- 200mm/300mm 制程设备
- 超高真空工艺腔体密封系统
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AMAT 233-2700-26
2026-02-27 10:59 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 233-2700-26
品牌AMAT
型号233-2700-26
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