AMAT 0040-48767

产品名称：腔体加热基座隔热组件产品简介：安装于真空腔体加热基座底部的隔热部件，用于减少热量损耗、稳定温度场、降低腔体外壳温度，保障高温制程稳定运行。技术规格材质...