AMAT 0200-09707

产品名称：静电卡盘均压保护环产品简介：安装在静电卡盘（ESC）外围的均流与保护环，用于均匀电场分布、改善晶圆吸附稳定性、保护 ESC 边缘不受等离子体直接冲刷。...