产品名称：静电卡盘均压保护环产品简介：安装在静电卡盘（ESC）外围的均流与保护环，用于均匀电场分布、改善晶圆吸附稳定性、保护 ESC 边缘不受等离子体直接冲刷。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷 / 碳化硅复合材料
- 尺寸精度：±0.01mm
- 耐温范围：-20℃～600℃
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 均匀电场分布，提升晶圆吸附力一致性
- 阻隔等离子体直接冲刷 ESC 边缘，延长使用寿命
- 降低晶圆边缘工艺偏差，提高整体良率
- 耐化学腐蚀、耐高低温冲击
- 标准化结构，互换性强，安装便捷应用场景
- 静电卡盘外围配套组件
- 导体刻蚀、介质刻蚀、PVD 设备腔体
- 先进制程晶圆夹持与工艺稳定系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 