产品名称：真空系统压力检测模块产品简介：用于半导体真空管路、腔体、负载锁的压力检测与信号变送模块，实时监测真空度并输出标准信号，为设备控制系统提供数据依据。技术规格
- 测量范围：1Torr～1000Torr
- 精度等级：±0.25% FS
- 输出信号：4～20mA / 0～10V
- 响应时间：≤10ms
- 工作电压：24VDC
- 接液材质：316L 不锈钢功能特点
- 测量稳定，长期使用无漂移
- 抗电磁干扰，适应复杂设备环境
- 快速响应，实现压力实时闭环控制
- 具备过压、反接、短路多重保护
- 模块化设计，即插即用，维护简便应用场景
- 真空腔体、Load Lock、传输腔压力监测
- 真空泵出口与管路压力控制系统
- 半导体刻蚀、沉积、清洗设备真空系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 